透射电镜样品杆清洗机

简要描述：CIF 透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。透射电镜样品杆清洗机主要用于 TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

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详细介绍

品牌	CIF	产地类别	国产
应用领域	医疗卫生,环保,食品/农产品,化工

产品特点

◆ 远程离子清洗源

◆ 一机多用

◆ 透射电镜样品杆清洗机清洗快速高效，低轰击损伤

透射电镜样品杆清洗机技术参数

产品型号	CIF-TEM
等离子电源	13.56MHz 等离子射频电源，射频功率 5-150W 可调
等离子电源	远程等离子源，自动匹配器
清洗室	清洗室尺寸 Ø180xH100mm
清洗数量	可同时清洗 3 支 TEM 样品杆
适配品牌	美国 THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL）
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm/ 分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	皮拉尼真空计，测量范围 1.0E-5Pa~1E+5Pa
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
真空泵	前级泵
	抽气速率 2.5 m³/h
	分子泵
	极限真空：LF<810-6Pa，CF<810-7Pa
	分子泵抽速 85L/s（N2）
	入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/ CF
质量保证	二年质保，终身维护
电源	AC220V、50/60Hz，300W
产品尺寸	L565xW505xH560mm
包装尺寸	L715xW655xH820mm
整机重量	68kg

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