等离子清洗机的实际应用

更新时间：2021-03-17 点击次数：1816

　　等离子清洗机也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。，大部分人可能会感觉很陌生。事实上，等通过对样品表面进行改性（亲水性），同时除掉表面有机物，使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好，应用广泛。

　　等离子清洗机对金属表面去油及清洗：金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到*洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

　　灰化表面有机层：因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

　　--表面会受到物理轰击和化学处理

　　--在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

　　--污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出

　　--紫外辐射破坏污染物

　　等离子清洗机氧化物去除：金属氧化物会与处理气体发生化学反应，这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。先用氧气氧化表面，再用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

　　焊接，通常，印刷线路板（PCB）在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质采用等离子清洗机去除，否则会带来腐蚀等问题。

　　键合，好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洗。